Работы по фотолитографии проводятся на отдельном участке с использованием специального оборудования и материалов. Здесь изготавливаются фотошаблоны и наносятся рисунки на такие детали, как сетки, лимбы и маски, с предварительно нанесенным слоем хрома. Лазерный генератор изображений ЭМ-5009А, под воздействием управляющей компьютерной программы, формирует изображение на площади до 127 х 127 мм. С полученного фотошаблона изображение передается на рабочую копию при помощи установки совмещения и экспонирования ЭМ-576. В качестве фоторезистов используются самые новые, высокоразрещающие, нетоксичные составы.

Лазерный генератор изображений	Установка совмещения и экспонирования

Изолированное рабочее место фотолитографа

В помещении поддерживается требуемая технологическая чистота и параметры микроклимата. Персонал обеспечен специальной антистатической одеждой для чистых помещений. Для очистки воздуха от пыли установлен мощный, компактный воздухоочиститель с производительностью до 200 м3/час. Приготовление деионизированной воды, от которой зависит качество протекания химических процессов проявления и травления, обеспечивает компактный деионизатор. Для нанесение фоторезиста используется станок СП-30У для химического просветления.

Наиболее ответственные рабочие места дополнительно изолированы от внешней среды Точность получаемых рисунков соответствует требованиям микрофотолитографии и составляет 2-3 мкм.